Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов /
Александров, Владимир Кузьмич
Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов / В.К. Александров, Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1988. - 240 с.
Список лит. с. 233-238
5343002641
Приборостроение. Измерительная техника
Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов / В.К. Александров, Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин ; Ин-т электроники АН БССР. - Минск : Наука и техника, 1988. - 240 с.
Список лит. с. 233-238
5343002641
Приборостроение. Измерительная техника