Normal view MARC view ISBD view

Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике : Сборник научных трудов /

Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике : Сборник научных трудов / Моск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Блинов И. Г. (отв. ред.) и др.]. - Москва : МИЭТ, 1981. - 151 с. : ил.

Библиогр. в конце работ

Subjects--Index Terms: Электронная технология - Сборники

Place hold
Print
Add to your cart (remove)
Suggest for purchase
Send to device
Save record
BIBTEX Dublin Core MARCXML MARC (non-Unicode/MARC-8) MARC (Unicode/UTF-8) MARC (Unicode/UTF-8, Standard) MODS (XML) RIS ISBD
More searches

Search for this title in:
Other Libraries (WorldCat) Other Databases (Google Scholar) Online Stores (Bookfinder.com) Open Library (openlibrary.org) ARAR ARMUNICAT HAYGIRK