Обработка полупроводниковых материалов /
Обработка полупроводниковых материалов /
[В. И. Карбань, П. Кой, В. В. Рогов и др.]; Под ред. Н. В. Новикова, В. Бертольди; АН УССР, Ин-т сверхтвердых материалов.
- Киев : Наукова думка, 1982.
- 256 с. : ил.
Авт. указаны на 2-й с.
Библиогр.: с. 235-252
Полупроводники - Обработка
Авт. указаны на 2-й с.
Библиогр.: с. 235-252
Полупроводники - Обработка