Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС : Учебное пособие /
Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС : Учебное пособие /
В.М. Глазов, Л.В. Гурская, В.В. Игнатьев, М.А. Королев; Под общ. ред. М.А. Ревелевой; Моск. ин-т электронной техники.
- Москва : МИЭТ, 1977.
- 129 с. : ил.
Библиогр.: с. 126
Полупроводниковые интегральные схемы
Библиогр.: с. 126
Полупроводниковые интегральные схемы