Александров, Владимир Кузьмич <br/><br/>
Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов / 
В.К. Александров, Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин ; Ин-т электроники АН БССР. 
 - Минск :  Наука и техника,  1988. 
 - 240 с. 
<br/><br/>Список лит. с. 233-238 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5343002641 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Приборостроение. Измерительная техника