TY  - BOOK
AU  - Александров,Владимир Кузьмич
AU  - Биенко,Юрий Николаевич
AU  - Ильин,Виктор Николаевич
ED  - Институт электроники АН БССР
TI  - Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов
SN  - 5343002641
PY  - 1988///
CY  - Минск
PB  - Наука и техника
KW  - Приборостроение. Измерительная техника
N1  - Список лит. с. 233-238
ER  -