Блинов, Иван Григорьевич. <br/><br/>
Оборудование полупроводникового производства / 
И.Г. Блинов, Л.В. Кожитов. 
 - Москва :  Машиностроение,  1986. 
 - 264 с. :  ил. 
<br/><br/>Список лит. с. 256-258 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковая электроника