TY  - BOOK
AU  - Блинов,Иван Григорьевич
AU  - Кожитов,Лев Васильевич
TI  - Оборудование полупроводникового производства
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Машиностроение
KW  - Полупроводниковая электроника
N1  - Список лит. с. 256-258
ER  -