Проблемы микроэлектроники :  Сборник научных трудов / 
Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни; Редкол.: Р.С. Касымова (отв. ред.) и др. 
 - Ташкент :  ТашПИ,  1986. 
 - 96 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр. в конце ст. 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника - Сборники