TY  - BOOK
AU  - Касымова,Р.С.
ED  - Ташкентский политехнический институт им. Абу Райхана Беруни
TI  - Проблемы микроэлектроники: Сборник научных трудов 
PY  - 1986///
CY  - Ташкент
PB  - ТашПИ
KW  - Микроэлектроника - Сборники
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -