Обработка полупроводниковых материалов / 
[В. И. Карбань, П. Кой, В. В. Рогов и др.]; Под ред. Н. В. Новикова, В. Бертольди; АН УССР, Ин-т сверхтвердых материалов. 
 - Киев :  Наукова думка,  1982. 
 - 256 с. :  ил. 
<br/><br/> Авт. указаны на 2-й с. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 235-252 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводники - Обработка