TY  - BOOK
AU  - Карбань,Валерий Иванович
AU  - Рогов,В.В.
AU  - Новиков,Николай Васильевич
AU  - Бертольди,В.
ED  - Академия наук УССР
ED  - Институт сверхтвердых материалов АН УССР
TI  - Обработка полупроводниковых материалов
PY  - 1982///
CY  - Киев
PB  - Наукова думка
KW  - Полупроводники - Обработка
N1  - Авт. указаны на 2-й с; Библиогр.: с. 235-252
ER  -