TY  - BOOK
AU  - Зорин,Евгений Иванович
AU  - Павлов,Павел Васильевич
AU  - Тетельбаум,Давид Исакович
TI  - Ионное легирование полупроводников
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковые приборы
N1  - Библиогр.: с. 120-128
ER  -