Легирование полупроводников методом ядерных реакций / 
Л.С. Смирнов, С.П. Соловьев, В.Ф. Стась, В.А. Харченко ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. 
 - Новосибирск :  Наука. Сиб. отд-ние,  1981. 
 - 181 с. :  ил. ;  21 см. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводники--Легирование ядерное