TY  - BOOK
AU  - Смирнов,Леонид Степанович
AU  - Соловьев,С.П.
AU  - Стась,В.Ф.
AU  - Харченко,В.А.
ED  - Институт физики полупроводников СО АН СССР
TI  - Легирование полупроводников методом ядерных реакций
PY  - 1981///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
KW  - Полупроводники
KW  - Легирование ядерное
ER  -