Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС :  Учебное пособие / 
В.М. Глазов, Л.В. Гурская, В.В. Игнатьев, М.А. Королев; Под общ. ред. М.А. Ревелевой; Моск. ин-т электронной техники. 
 - Москва :  МИЭТ,  1977. 
 - 129 с. :  ил. 
<br/><br/>Библиогр.: с. 126 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Полупроводниковые интегральные схемы