TY  - BOOK
AU  - Глазов,Василий Михайлович
AU  - Гурская,В.М
AU  - Игнатьев,В.В.
AU  - Королев,М.А
AU  - Ревелева,М.А
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: Учебное пособие 
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Полупроводниковые интегральные схемы
N1  - Библиогр.: с. 126
ER  -