TY - BOOK AU - Аристов,Виталий Васильевич AU - Ерко,Алексей Иванович ED - Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР TI - Рентгеновская оптика SN - 5020068268 PY - 1991/// CY - Москва PB - Наука KW - Рентгеновские лучи KW - Оптика N1 - Библиогр.: с. 132-148 ER -