000 00886nam a2200193 a 4500
001 000656473
003 AM-YeHGA
005 20210831161602.0
008 090507s1986 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM-YeHGA
_cAM-YeHGA
041 0 _arus
245 0 0 _aПроблемы микроэлектроники :
_bСборник научных трудов /
_cТашк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни; Редкол.: Р.С. Касымова (отв. ред.) и др.
260 _aТашкент :
_bТашПИ,
_c1986.
300 _a96 с. :
_bил.
504 _aБиблиогр. в конце ст.
653 0 _aМикроэлектроника - Сборники
700 1 _aКасымова, Р.С.
_eред.
_4edt
710 2 _aТашкентский политехнический институт им. Абу Райхана Беруни
999 _c239913
_d239913