| 000 | 00991nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000843367 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20220630142439.0 | ||
| 008 | 111103s1981 ru r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aФизические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике : _bСборник научных трудов / _cМоск. ин-т электрон. техники; [Редкол.: Блинов И. Г. (отв. ред.) и др.]. |
| 260 |
_aМосква : _bМИЭТ, _c1981. |
||
| 300 |
_a151 с. : _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр. в конце работ | ||
| 653 | 0 | _aЭлектронная технология - Сборники | |
| 700 | 1 |
_aБлинов, Иван Григорьевич _eред. _4edt |
|
| 710 | 2 | _aМосковский институт электронной техники | |
| 999 |
_c304084 _d304084 |
||