000 01053nam a2200229 a 4500
001 000110714
003 AM-YEHGA
005 20240827000130.0
008 950720s1981 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
040 _aAM-YEHGA
_cAM-YeHGA
041 0 _arus
245 0 0 _aЛегирование полупроводников методом ядерных реакций /
_cЛ.С. Смирнов, С.П. Соловьев, В.Ф. Стась, В.А. Харченко ; АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников.
260 _aНовосибирск :
_bНаука. Сиб. отд-ние,
_c1981.
300 _a181 с. :
_bил. ;
_c21 см.
650 1 4 _aПолупроводники
_xЛегирование ядерное
700 1 _aСмирнов, Леонид Степанович
700 1 _aСоловьев, С.П.
700 1 _aСтась, В.Ф.
700 1 _aХарченко, В.А.
710 2 _aИнститут физики полупроводников СО АН СССР
942 _2udc
_cBK
999 _c36674
_d36674