| 000 | 01019nam a2200229 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000165854 | ||
| 003 | AM-YeHGA | ||
| 005 | 20230629143341.0 | ||
| 008 | 950417s1991 ru a|||gr|||||||||0|rus|d | ||
| 020 | _a5020068268 | ||
| 040 | _aAM-YEHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aАристов, Виталий Васильевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aРентгеновская оптика / _cВ.В. Аристов, А.И. Ерко ; АН СССР. Ин-т пробл. технологии микроэлектрон. и особочистых материалов. |
| 260 |
_aМосква : _bНаука, _c1991. |
||
| 300 |
_a150 с. : _bил. ; _c22 см. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 132-148 | ||
| 650 | 1 | 4 |
_aРентгеновские лучи _xОптика |
| 700 | 1 | _aЕрко, Алексей Иванович | |
| 710 | 2 | _aИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР | |
| 942 |
_2udc _cBK _n0 |
||
| 999 |
_c57833 _d57833 |
||